光學(xué)薄膜測(cè)量?jī)x的原理: 當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過(guò)時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí),還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測(cè)量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào)。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來(lái),得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào)。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)以及波度等因素對(duì)粗糙度測(cè)量的影響。
根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。
光學(xué)薄膜測(cè)量?jī)x的主要特點(diǎn):
真空壓差法測(cè)試原理;
三腔獨(dú)立測(cè)試;
三腔循環(huán)介質(zhì)控溫,各自獨(dú)立溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)控;
智能模式,試驗(yàn)過(guò)程全自動(dòng),一鍵式操作;
真空泵自動(dòng)啟停,無(wú)需人工開(kāi)關(guān);
氣體透過(guò)率、擴(kuò)散系數(shù)、溶解度系數(shù)、滲透系數(shù)測(cè)試;
多種試驗(yàn)?zāi)J娇蛇x擇,可滿(mǎn)足各種標(biāo)準(zhǔn)、非標(biāo)試驗(yàn);
數(shù)據(jù)審計(jì)追蹤、溯源;系統(tǒng)日志記錄;
5級(jí)用戶(hù)權(quán)限管理;
溫度曲線(xiàn)、濕度曲線(xiàn)、壓差曲線(xiàn)、曲線(xiàn)獨(dú)立顯示、曲線(xiàn)疊加;
可支持DSM實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)管理系統(tǒng),能實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)監(jiān)控、數(shù)據(jù)統(tǒng)一管理。
光學(xué)薄膜測(cè)量?jī)x由測(cè)繪主機(jī)、測(cè)繪平臺(tái)、Y型光纖及上位機(jī)軟件搭建而成,核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀結(jié)合*的算法技術(shù),為用戶(hù)提供的自動(dòng)光學(xué)薄膜厚度測(cè)量?jī)x。